1. Линейного типа.
1.1 - Линейная тупиковая без камеры нанесения.
1.2 - Линейная тупиковая с камерой нанесения.
1.3 - Линейная проходная без камеры нанесения.
1.4 - Линейная проходная с камерой нанесения.
2. Кольцевые
3. Полукольцевые.
3.1 - П-образная.
3.2 - Т-образная.
3.3 - Н-образная.
